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真空镀膜厂家真空室形带来的影响

为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响，我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上，其与真空室底壁之间采用点、

线、面活性支撑，以吸收和隔离形变，并设置形变补偿调节机构，在系统抽真，参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量，以使其在真空状态下达到平衡。

为了验证有限元计算的结果，对真空室的形变和补偿进行了测试。一步，将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧，pvd真空镀膜，

当真空室由---抽到真空时，记录各千分表的变化量，经一体化处理后为用激光自准直仪调整i形变补偿。

真空镀膜加工技术的一般术语及工艺

2.1.8激光束蒸发：通过激光束加热蒸发材料的蒸发。

   2.1.9间接加热的蒸发：在加热装置(例如小舟形蒸发器，pvd真空镀膜报价，坩埚，灯丝，pvd真空镀膜加工，加热板，加热棒，螺旋线圈等)中使蒸发材料获得蒸发所须的热量并通过热传导或热辐射方式传递给蒸发材料的蒸发。

   2.1.10闪蒸：将很少量的蒸发材料间断地做瞬时的蒸发。

   2.2真空溅射：在真空中，惰性气体离子从靶表面上轰击出原子（分子）或原子团的过程。

   2.2.1反应性真空溅射：通过与气体的反应获得理想化学成分的膜层材料的真空溅射。