pvd真空镀膜过程的均匀性
pvd真空镀膜过程非常复杂,由于镀膜原理的不同分为很多种类,仅仅因为都需要高真空度而拥有统一名称。所以对于不同原理的pvd真空镀膜,影响均匀性的因素也不尽相同。并且均匀性这个概念本身也会随着镀膜尺度和薄膜成分而有着不同的意义。
pvd镀膜加工工艺流程比较长、工序繁多,表面真空镀膜加工,发生故障的影响因素会很多。如pvd镀膜前处理不净、清洗---、电解液成分失调及杂质污染、生产环境---等。pvd镀膜而故障的原因往往存在于以上各影响因素的一两个细节之中。
真空镀膜厂家 真空镀膜加工镀铝怎样镀厚
由于真空镀铝薄膜上的镀铝层非常薄,因此不能用常规的测厚仪器检测其厚度,常用的检测方法如下:
电阻法。电阻法是利用欧姆定律来对镀铝层的厚度进行测量,根据欧姆定律: r=pxl/s 单位面积镀铝薄膜的电阻值越小,其镀铝层的厚度越厚,反之则越薄。
电阻法检测镀铝层的厚度用表面电阻来表示,单位是q,数值越大说明镀铝层厚度越薄,真空镀膜加工,一般真空镀铝薄膜的表面电阻值为1.0~2.5q。
对于真空镀膜加工单片膜色不均匀产生的原因
主要是由于基片凹凸---,真空镀膜加工厂家,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,不锈钢真空镀膜加工,形成的膜厚差异大。?
另外镜片被镜圈()边缘部遮挡、镜圈()脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。?
---思路:---镜片边缘的蒸发角。
---对策:?
㈠?条件许可,用行星夹具;?
㈡?选用伞片平坦(r大)的机台;?
㈢?根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。?
㈣?如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可---单片的膜色均匀性。?㈤?---镜圈(),防止遮挡。?
㈥?注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡?㈦?清洁镜圈()?㈧?---膜料蒸发状况。
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